双氧水+硫酸体系的微蚀液失效

一、双氧水+硫酸体系的微蚀液失效的原因： 1、 双氧水的稳定性（分解）原因：

1） 温度的影响：温度升高 双氧水分解 速度加快（30度）

2） 铜离子浓度的升高也使双氧水分解加快：25g/L时双氧水的分解速率加快

(20g/L时开始促进双氧水分解)

建议:1) 控制反应的温度; 2)反应时间长了要控制铜离子的浓度; 3)添加双氧水的稳定剂(含有极性氢原子功能团的有机化合物,如:羟基-OH、羧基-COOH、磺酸基-SO3H、胺基-NH-)

2、 反应液中氯离子（Cl-）浓度的影响：

反应中氯离子对微蚀速率影响很大，随着氯离子的升高，无论采用何种方式均只能维持低微蚀速率，要有效提高微蚀量只好采用微蚀作用时间来达到明显效果。

作用的效果为（氯离子，温度，双氧水含量） 附注：

氯离子在酸性强氧化环境中会生成氯气Cl2 Cl2 + H2O ==（可逆号） Cl- + 2H+ + ClO-

当酸性过强的时候,可逆反应转向生成氯气,但所添加的量,不足以挥发出来,还是溶解在水中,但当酸性不足的时候,可逆反应转向,以维持均衡的酸性,保证氧化效果的均匀.但当氯离子过高的时候,转向生成氯气一方,因此微蚀的速度就会降下来,同时还会挥发少量氯气。

H2O2 + Cl2 =O2 +2 HCl (因为氯气的氧化性强于双氧水)

（所以在双氧水体系中，控制氯离子的含量是很重要的） 所以氯离子偏高会使双氧水分解。 七：异常处理：

1、板面发黑：降低硫酸浓度；

2、微蚀深度达不到：化验分析硫酸、双氧水、铜离子；是否硫酸、双氧水浓度过低或铜离子偏高；如果硫酸、双氧水浓度过低可补充硫酸、双氧水达到设定值即可；如果铜离子偏高，排去槽液三分之一补充新液即可；

3、如微蚀速率过高，检查温度是否偏高；硫酸、双氧水浓度是否偏高； 4、如微蚀速率过低，化验氯离子是否偏高，如偏高需从新更换槽液；

二、过硫酸钠体系的问题

1、溶液中深度影响蚀刻速率： Na2S2O8+Cu = CuSO4+Na2SO4

在硫酸浓度不高的时候，SO2-4的增加有利于与反应中的Cu2+结合，反应速率加快；但当H2SO4增加到一定程度时，反应产物中的SO2-4浓度增加过大，抑制了反应的进程。

2.硫酸铜含量的影响：

铜离子浓度大于25g/L时，随着铜离子的浓度增加微蚀速率大大降低，反应难控制，对铜板的蚀刻会很不均一。

龙经理，希望对你有帮助！

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