专利名称：泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制
器
专利类型：发明专利
发明人：土肥亮介,筱原努,西野功二,铜敏男,池田信一,山路道
雄
申请号：CN201380033899.0申请日：20130711公开号：CN104685333A公开日：20150603
摘要：提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器，该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上，由此，能够始终监视流体的泄漏。流体控制器(1)由流体控制器主体(2)和安装在流体控制器主体(2)上的泄漏检测装置(3)构成。在流体控制器主体(2)上设有用于检测泄漏的泄漏口(16)。泄漏检测装置(3)具有：传感器保持体(21)，其安装在流体控制器主体(2)上；超声波传感器(22)，其以与泄漏口(16)相对的方式保持在传感器保持体(21)上；超声波通路(23)，其设在超声波传感器(22)的感应面与泄漏口(16)之间；处理电路(24)，其处理由超声波传感器(22)得到的超声波。
申请人：株式会社富士金
地址：日本大阪府
国籍：JP
代理机构：北京市金杜律师事务所
代理人：陈伟
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