专利名称:氮化硅粉末的制造方法专利类型:发明专利发明人:若松智
申请号:CN201980013821.X申请日:20190225公开号:CN111727168A公开日:20200929
摘要:一种氮化硅粉末的制造方法,其特征在于,包括如下工序:准备包含90质量%以上的硅粉末的原料粉末的工序;将前述原料粉末填充至耐热性反应容器的工序;在氮气气氛下,对填充至前述反应容器的原料粉末点火,通过使硅的氮化燃烧热传播至该原料粉末整体的燃烧合成反应而得到块状产物的工序;对前述块状产物在干式下进行机械粉碎的工序。
申请人:株式会社德山
地址:日本山口县
国籍:JP
代理机构:北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
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