(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 206838662 U(45)授权公告日 2018.01.05
(21)申请号 201720614839.3(22)申请日 2017.05.31
(73)专利权人 江苏芯力特电子科技有限公司
地址 212415 江苏省镇江市句容市宝华镇
仙林东路16号(72)发明人 张文杰 谢亮 金湘亮 (74)专利代理机构 南京纵横知识产权代理有限
公司 32224
代理人 董建林 韩赛(51)Int.Cl.
B08B 5/02(2006.01)B08B 15/04(2006.01)B08B 5/04(2006.01)B08B 13/00(2006.01)
(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利(54)实用新型名称
一种用于芯片除尘的装置(57)摘要
本实用新型公开了一种用于芯片除尘的装置，包括箱体，箱体的前侧敞口并在敞口处设置箱门；还包括：气泵；盘式喷头，设置于箱体内；电机，设置于箱体内；转盘，由电机驱动可转动地设置于箱体内；集尘室，设置在箱体两侧的外部；风机，设置于集尘室中；下夹条，设置于转盘上；上夹条，可调节地设置于下夹条的上方；螺栓，具有固定下夹条的螺纹段和滑动连接上夹条的非螺纹段；夹紧弹簧，一端连接至上夹条，另一端连接至螺栓从而将芯片夹在上夹条和下夹条之间；盘式喷头与气泵连接并且位于转盘的上方面朝转盘设置；箱体与集尘室连通，集尘室具有一出气管。本实用新型具有的有益效果：通过高压气流对芯片进行吹屑，除尘过程不产生任何损耗确保较高的除尘率。
权利要求书2页 说明书4页 附图5页
CN 206838662 UCN 206838662 U
权 利 要 求 书
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1.一种用于芯片除尘的装置，包括箱体（1），所述箱体（1）的前侧敞口（1.1）并在敞口（1.1）处设置箱门；其特征在于：还包括：
气泵；
盘式喷头，设置于所述箱体（1）内；电机（4），设置于所述箱体（1）内；转盘（3），由所述电机（4）驱动可转动地设置于所述箱体（1）内；集尘室（5），设置在所述箱体（1）两侧的外部；风机，设置于所述集尘室（5）中；下夹条（12），设置于所述转盘（3）上；上夹条（13），可调节地设置于所述下夹条（12）的上方；螺栓（14），具有固定所述下夹条（12）的螺纹段和滑动连接所述上夹条（13）的非螺纹段；
夹紧弹簧（15），一端连接至所述上夹条（13），另一端连接至所述螺栓（14）从而将芯片夹在所述上夹条（13）和所述下夹条（12）之间；
所述盘式喷头与所述气泵连接并且位于所述转盘（3）的上方面朝所述转盘（3）设置；所述箱体（1）与所述集尘室（5）连通，所述集尘室（5）具有一出气管（6）。
2.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：所述盘式喷头具有一个喷头本体（2）和连接所述喷头本体（2）和气泵的高压气管（8）；所述喷头本体（2）为正方形或圆形的结构体，其内部具有用于气体分流的分流腔（2.1），所述分流腔（2.1）连通所述高压气管（8）；所述喷头本体（2）的下表面具有若干用于使气流从所述分流腔（2.1）中喷出的气孔（2.2）。
3.根据权利要求2所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：所述上夹条（13）和所述下夹条（12）的夹持面上均设置有若干等距排列、用于夹持芯片的卡槽。
4.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：还包括：气缸（11），设置于所述转盘（3）上；所述气缸（11）的推杆连接所述电机（4）从而驱动所述电机（4）和转盘（3）升降。5.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：还包括：防逆流挡片（7），转动设置在所述集尘室（5）与所述箱体（1）的连通处；所述防逆流挡片（7）能够在所述风机的吸力作用下开启，也能够在自身重力作用下关闭。
6.根据权利要求5所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：还包括：限位块（9），设置在所述集尘室（5）内；所述防逆流挡片（7）开启角度达到30～45°时碰触所述限位块（9）。7.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：所述集尘室（5）中设置有用于将气流引导至所述出气管（6）的导流片（10）。
8.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：所述集尘室（5）中设置有用于将气流引导至所述出气管（6）的导流网。
9.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：所述出气管（6）处设置过滤网。
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权 利 要 求 书
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10.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：还包括：灰尘传感器，设置在所述箱体（1）内用于检测其内部的灰尘浓度。
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说 明 书
一种用于芯片除尘的装置
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技术领域
[0001]本发明属于芯片加工技术领域，具体涉及一种用于芯片除尘的装置。
背景技术
[0002]芯片是所有电气元件不可缺少的部分之一，芯片的好坏直接决定了电气设备性能的强弱。在制造芯片时，从原材料到最后封装芯片的每个环节都不可避免的产生尘屑，整个工序下来芯片上的积尘较多从而不得不进行除尘处理从而避免产生静电危害等能够造成芯片严重损害的情况发生。
[0003]目前用于芯片除尘的装置采用的方式主要是毛刷扫除，毛刷的刷毛不断扫过芯片从而将其表面的尘屑扫除并进一步通过风机吸走。这种方式的优点是处理量大，可以通过旋转毛刷实现大面积和高效率的除尘工作。但是，这种方式也存在缺点。由于毛刷存在损耗，随着使用时间的增加，刷毛会逐渐脱落并且一部分刷毛会成为尘屑的一部反从而在结束除尘后落在芯片上从而造成芯片不洁；毛刷掉毛过多后也会降低自身的清洁能力从而使除尘效率大大折扣，这时候便需要更换毛刷，如此一来便提高了成本开支。除此之外，现有的除尘装置中，芯片的固定也存在缺陷，不能很好地固定芯片完成除尘作业。发明内容
[0004]本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种用于芯片除尘的装置，通过高压气流对芯片进行吹屑，能够对芯片实现牢固的夹持，并且除尘过程不产生任何损耗确保较高的除尘率。
[0005]为解决现有技术问题，本发明公开了一种用于芯片除尘的装置，包括箱体，箱体的前侧敞口并在敞口处设置箱门；还包括：[0006]气泵；
[0007]盘式喷头，设置于箱体内；[0008]电机，设置于箱体内；[0009]转盘，由电机驱动可转动地设置于箱体内；[0010]集尘室，设置在箱体两侧的外部；[0011]风机，设置于集尘室中；[0012]下夹条，设置于转盘上；[0013]上夹条，可调节地设置于下夹条的上方；[0014]螺栓，具有固定下夹条的螺纹段和滑动连接上夹条的非螺纹段；[0015]夹紧弹簧，一端连接至上夹条，另一端连接至螺栓从而将芯片夹在上夹条和下夹条之间；盘式喷头与气泵连接并且位于转盘的上方面朝转盘设置；箱体与集尘室连通，集尘室具有一出气管。[0016]进一步地，盘式喷头具有一个喷头本体和连接喷头本体和气泵的高压气管；喷头本体为正方形或圆形的结构体，其内部具有用于气体分流的分流腔，分流腔连通高压气管；
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说 明 书
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喷头本体的下表面具有若干用于使气流从分流腔中喷出的气孔。[0017]进一步地，上夹条和下夹条的夹持面上均设置有若干等距排列、用于夹持芯片的卡槽。
[0018]进一步地，还包括：[0019]气缸，设置于转盘上；
[0020]气缸的推杆连接电机从而驱动电机和转盘升降。[0021]进一步地，还包括：[0022]防逆流挡片，转动设置在集尘室与箱体的连通处；[0023]防逆流挡片能够在风机的吸力作用下开启，也能够在自身重力作用下关闭。[0024]进一步地，还包括：[0025]限位块，设置在集尘室内；
[0026]防逆流挡片开启角度达到30～45°时碰触限位块。[0027]进一步地，集尘室中设置有用于将气流引导至出气管的导流片。[0028]进一步地，集尘室中设置有用于将气流引导至出气管的导流网。[0029]进一步地，出气管处设置过滤网。[0030]进一步地，还包括：[0031]灰尘传感器，设置在箱体内用于检测其内部的灰尘浓度。[0032]本发明具有的有益效果：能够对芯片实现牢固的夹持，并且除尘过程不产生任何损耗确保较高的除尘率。
附图说明
[0033]图1为本发明的结构立体图；[0034]图2为本发明的结构主视图[0035]图3为本发明的结构侧视图；[0036]图4为图3中A-A向剖视图；
[0037]图5为本发明夹持机构的结构主视图；[0038]图6为本发明夹持芯片的结构主视图；[0039]图7为本发明夹持芯片的结构俯视图。[0040]附图标记：[0041]1箱体；1.1敞口；2喷头本体；2.1分流腔；2.2气孔；3转盘；4电机；5集尘室；6出气管；7防逆流挡片；8高压气管；9限位块；10导流片；11气缸；12下夹条；13上夹条；14螺栓；15夹紧弹簧；16芯片。具体实施方式
[0042]下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。[0043]如图1至7所示，一种用于芯片除尘的装置，包括箱体1，箱体1的前侧敞口1.1并在敞口1.1处设置箱门；还包括：[0044]气泵；
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说 明 书
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盘式喷头，设置于箱体1内；
[0046]电机4，设置于箱体1内；[0047]转盘3，由电机4驱动可转动地设置于箱体1内；[0048]集尘室5，设置在箱体1两侧的外部；[0049]风机，设置于集尘室5中；[0050]下夹条12，设置于转盘3上；[0051]上夹条13，可调节地设置于下夹条12的上方；[0052]螺栓14，具有固定下夹条12的螺纹段和滑动连接上夹条13的非螺纹段；[0053]夹紧弹簧15，一端连接至上夹条13，另一端连接至螺栓14从而将芯片16夹在上夹条13和下夹条12之间；盘式喷头与气泵连接并且位于转盘3的上方面朝转盘3设置；箱体1与集尘室5连通，集尘室5具有一出气管6。[0054]使用时，将箱门打开，将若干待清洁的芯片16放到下夹条12上，然后松开上夹条13使其在夹紧弹簧15的作用力下夹紧芯片16。然后启动电机4使转盘3旋转，启动气泵产生气流，启动风机产生吸力，气流在分流腔2.1中分流并经过气孔2.2喷出产生高速气流，高速气流冲击芯片16表面从而将尘屑吹离。尘屑脱离芯片16后在吸力作用下从箱体1内进入集尘室5中，最终经过出气管6排到外界环境中。除尘结束，关闭电机4、风机和气泵，打开箱门将芯片16逐个取出即可。[0055]通过固定，可以使芯片在吹屑时不会因为气流过大而产生晃动或偏移，也避免因转盘转动的离心作用而产生偏移。[0056]作为优选方案，盘式喷头具有一个喷头本体2和连接喷头本体2和气泵的高压气管8。喷头本体2为圆形或正方形的结构体，其内部具有用于气体分流的分流腔2.1，分流腔2.1连通高压气管8；喷头本体2的下表面具有若干用于使气流从分流腔2.1中喷出的气孔2.2。这样能够使气流分成多股高速气流，增大扫除面积，避免清理死角。[0057]作为优选方案，上夹条13和下夹条12的夹持面上均设置有若干等距排列、用于夹持芯片16的卡槽。这样能够对芯片16的水平方向实现限位，提高夹持牢固性。[0058]作为优选方案，还包括：气缸11，设置于转盘3上；气缸11的推杆连接电机4从而驱动电机4和转盘3升降。这样能够调节转盘3和喷头本体2之间的距离，从而改变作用到芯片16上的吹屑气流的作用力。[0059]作为优选方案，还包括：[0060]防逆流挡片7，转动设置在集尘室5与箱体1的连通处；[0061]防逆流挡片7能够在风机的吸力作用下开启，也能够在自身重力作用下关闭。这样能够避免除尘结束后，漂浮的尘屑再次回到箱体1内，提高了除尘率。[0062]作为优选方案，还包括：[0063]限位块9，设置在集尘室5内；
[0064]防逆流挡片7开启角度达到30～45°时碰触限位块9。这样能够防止防逆流挡片7过度开启而阻挡气流进入出气管6。[0065]作为优选方案，集尘室5中设置有用于将气流引导至出气管6的导流片10。这样能够使气流更快的进入排气管中而排出，避免在集尘室5的角落处形成旋流而影响出气速度。[0066]作为优选方案，集尘室5中设置有用于将气流引导至出气管6的导流网。导流网的
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说 明 书
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作用之一与导流片10相同，另一个作用则是对尘屑进行吸附过滤从而适用于在某些不适合直接排入外界的环境中的情况。[0067]作为优选方案，出气管6处设置过滤网。过滤网的作用与导流网第二个作用相同，故不赘述。
[0068]作为优选方案，还包括：[0069]灰尘传感器，设置在箱体1内用于检测其内部的灰尘浓度。这样能够实时监测箱体1内的尘屑浓度，当浓度值下降到某一合理值时则可认为除尘结束，关闭电机4等部件即可，更加直观的监控和掌握整个除尘作业的全过程。[0070]以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。
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说 明 书 附 图
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图2
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说 明 书 附 图
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说 明 书 附 图
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