专利名称：一种材料表面低温等离子体改性方法及其装置专利类型：发明专利发明人：王红卫
申请号：CN201110101711.4申请日：20110422公开号：CN102746524A公开日：20121024
摘要：本发明提供一种材料表面低温等离子体改性方法，所述方法为：采用负压、电容耦合等离子体放电，待处理物料放置于放电区之外，真空腔壁接地，真空腔内设内电极，内电极上开孔，以利于气体分布和各种活性粒子的流通。一种材料表面低温等离子体改性装置，所述装置包括抽气口、腔体外壁电极、内壁孔、腔体内壁电极、喂气口、处理材料以及等离子体发生电源。本发明所述方法及其装置，等离子体聚合反应温和、副反应少、可控性强，极大地满足了工业生产的需要。
申请人：苏州市奥普斯等离子体科技有限公司
地址：215000 江苏省苏州市苏州高新技术产业开发区泰山路2号
国籍：CN
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容