一种高纯化学品生产冷却装置[实用新型专利]

*CN202223928U*

(10)授权公告号 CN 202223928 U(45)授权公告日 2012.05.23

(12)实用新型专利

(21)申请号 201120233094.9(22)申请日 2011.07.05

(73)专利权人瓮福（集团）有限责任公司

地址550002 贵州省贵阳市市南路57号瓮

福国际23楼(72)发明人刘飞 杨毅 李天祥 孟文祥

杨正光(74)专利代理机构贵阳中工知识产权代理事务

所 52106

代理人刘安宁(51)Int.Cl.

B01D 9/02(2006.01)

(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页权利要求书1页 说明书2页 附图1页

(54)实用新型名称

一种高纯化学品生产冷却装置(57)摘要

本实用新型公开了一种高纯化学品生产冷却装置。该生产高纯化学品冷却装置包括：换热器（1）、循环泵(8)、缓冲罐（2）和结晶器（3）；换热器（1）设有冷媒进口（4）和冷媒出口（6）；换热器（1）的顶部和缓冲罐（2）的下部的通过循环泵（8）相连；缓冲罐（2）的顶部有原料进口（9）,另有细晶进口（10）与结晶器（3）上部的溢流口（4）相连通；结晶器设有冷媒进口（12）和冷媒出口（13）；换热器（1）的底部的与结晶器（3）的中部相连。使用该装置生产成本低，得到的产品纯度高，具有很高的经济效益和社会效益。CN 202223928 UCN 202223928 U

权 利 要 求 书

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1.一种高纯化学品生产冷却装置，其特征在于它包括：换热器(1)、循环泵(8)、缓冲罐(2)和结晶器(3)；换热器(1)一侧的下部设有冷媒进口(4)，另一侧的上部设有冷媒出口(6)；换热器(1)的顶部的进口(5)和缓冲罐(2)的下部的出口(16)通过循环泵(8)相连；缓冲罐(2)的顶部有原料进口(9)，另有细晶进口(10)与结晶器(3)上部的溢流口(11)相连通；结晶器(3)的一侧下部设有冷媒进口(12)，另一侧上部则设有冷媒出口(13)；换热器(1)的底部的出口(7)与结晶器(3)的中部的进口(14)相连。

2.根据权利要求1所述的高纯化学品生产冷却装置，其特征在于换热器(1)是列管式换热器。

3.根据权利要求1所述的高纯化学品生产冷却装置，其特征在于结晶器(3)内装有搅拌器(15)。

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说 明 书

一种高纯化学品生产冷却装置

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技术领域

[0001]

本实用新型涉及到一种冷却装置，尤其涉及生产高纯化学品的冷却装置。

背景技术

高纯化学品主要广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器、半导体等微

电子工业等方面，用作清洗和蚀刻剂，其纯度和洁净度对电子元器件的产品率、电性能、可靠性有很大的影响。随着我国微电子工业的高速发展，电子化学品的需求越来越大。

[0003] 韩国的Kim C U等人开发了一个冷却结晶法生产高纯化学品的技术。但该方法温度过低，能耗高，生产条件苛刻，只能间歇性生产，没有看见进一步生产报道（KR2003042108）。

[0004] 另外有日本的山崎康夫等人用浸渍冷却结晶法来制备高纯化学品。但该方法对设备要求高，能耗高，产品收率低，只能间歇性生产，不能实现连续性生产(特开平3-193614、特开平3-1237009、特开平12-026111)。

[0002]

发明内容

[0005] 本实用新型的目的在于：克服上述间歇性生产高纯化学品，而提供的一种连续生产高纯化学品的冷却装置。

[0006] 本实用新型的技术方案是：

[0007] 该生产高纯化学品冷却装置包括换热器、循环泵、缓冲罐和结晶器；换热器一侧的下部设有冷媒进口，另一侧的上部设有冷媒出口；换热器顶部的进口和缓冲罐的下部的出口通过循环泵相连；缓冲罐的顶部有原料进口，另有细晶进口与结晶器上部的溢流口相连通，细晶通过溢流口进入缓冲罐；结晶器的一侧下部设有冷媒进口，另一侧上部则设有冷媒出口；换热器底部的出口与结晶器中部的进口通过管道相连，原料在换热器内降温后可进入结晶器养晶、提纯。

[0008] 上述换热器是列管式换热器，冷媒流经管间，原料流经管内。[0009] 上述结晶器内装有搅拌器，可通过调整其速率和电子化学品进入量的大小，实现结晶器晶体养晶、长大、分层。

[0010] 所述冷媒是乙二醇的水溶液或水。

[0011] 本实用新型的冷却装置的操作流程是原料通过原料进口进缓冲罐后，通过循环泵进入换热器降温，进入结晶器结晶提纯，细晶通过溢流口进入缓冲罐和原料混合进行再次降温结晶提纯，大颗粒晶体通过结晶器底部放料阀排出。[0012] 本实用新型的优点是：工艺流程短，能耗低，清洁无污染；操作过程易控制，生产过程中无磷的损耗；产量高，生产成本低，得到的电子化学品纯度高，具有很高的经济效益和社会效益。附图说明

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说 明 书

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图1为生产高纯化学品生产冷却装置示意图。

[0014] 图中，1为换热器，2为缓冲罐，3为结晶器，4为冷媒进口，5为进口，6为冷媒出口，7为出口，8为循环泵，9为原料进口，10为细晶进口，11为溢流口，12为冷媒进口，13为冷媒出口，14为进口，15为搅拌器，16为原料出口。具体实施方式

[0015] 实施例：

[0016] 生产高纯磷酸的冷却装置包括：换热器1、循环泵8、缓冲罐2和结晶器3；换热器1一侧的下部设有冷媒进口4，另一侧的上部设有冷媒出口6；换热器1的顶部的进口5和缓冲罐2的下部的原料出口16通过循环泵8相连；缓冲罐2的顶部有原料进口9,另有细晶进口10与结晶器3上部的溢流口11相连通；结晶器3的一侧下部设有冷媒进口12，另一侧上部则设有冷媒出口13；换热器1的底部的出口7与结晶器3的中部的进口14相连。换热器1是列管式换热器。结晶器3内装有搅拌器15。

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说 明 书 附 图

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图1

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