专利名称：光束弯折器专利类型：发明专利发明人：村上武司
申请号：CN201910496639.6申请日：20190610公开号：CN110581047A公开日：20191217
摘要：本发明提供一种光束弯折器，能够提高由光束弯折器弯曲后的电子射线的集束性。在沿着通过光束弯折器(12)的内侧曲面(17)与外侧曲面(19)之间的电子射线的行进方向的第一剖面中，设定成内侧曲面的曲率和外侧曲面的曲率分别恒定，内侧曲面的曲率中心与外侧曲面的曲率中心一致。在与电子射线的行进方向垂直的第二剖面中，设定成内侧曲面的曲率和外侧曲面的曲率分别恒定，内侧曲面的曲率中心与外侧曲面的曲率中心一致。第二剖面中的内侧曲面的曲率半径被设定得比第一剖面中的内侧曲面的曲率半径大，第二剖面中的外侧曲面的曲率半径被设定得比第一剖面中的外侧曲面的曲率半径大。
申请人：株式会社荏原制作所
地址：日本东京都大田区羽田旭町11番1号
国籍：JP
代理机构：上海华诚知识产权代理有限公司
代理人：肖华
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