（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201010577193.9 （22）申请日 2010.12.08
（71）申请人 上海华谊微电子材料有限公司
地址 200940 上海市宝山区铁力路3号
（10）申请公布号 CN102556976A
（43）申请公布日 2012.07.11
（72）发明人 汤慧;詹家荣
（74）专利代理机构 上海新天专利代理有限公司
代理人 王敏杰
（51）Int.CI
C01B15/013;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
连续化生产超纯过氧化氢的方法
（57）摘要
本发明涉及一种连续化生产超纯电子级过
氧化氢的方法，采用工业级过氧化氢为原料经过大孔吸附树脂预处理，通过阳离子交换树脂、阴离子交换树脂进行第一级离子交换；之后进入多级阴阳离子混合交换树脂柱，最后超细过滤，得到超纯过氧化氢。本发明安全性好，操作简单，产品质量稳定，适于大规模连续化生产。
法律状态
法律状态公告日
2012-07-11 2012-09-19 2013-09-25 2016-01-27
公开
法律状态信息
公开
专利申请权、专利权的转移 实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回
法律状态
专利申请权、专利权的转移 实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回
权利要求说明书
连续化生产超纯过氧化氢的方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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