您的当前位置:首页正文

MES在半导体生产管理中的应用

2020-08-04 来源:榕意旅游网
智能处理与应用Intelligent Processing and ApplicationMES在半导体生产管理中的应用耿凯鸽

(西安卫光科技有限公司,陕西 西安 710065)

摘 要:MES将生产过程与信息化有效结合,具有实时管控生产状况、快速查找分析问题、提升信息回应速度的三大应用特点,对于优化生产工艺、节约制造成本、缩短生产周期、提高产出效率等 效果显著,得到了国家政策的大力支持和推广。

关键词:MES;生产管理;半导体

TP27 文献标识码:A 文章编号:2095-1302(2014)08-0087-03中图分类号:

0 引 言

随着日益激烈的市场竞争和客户需求的多样化,半导体制造企业必须适应信息化时代特点,将生产工艺制造过程与信息化有效结合,实现在线控制,从而优化生产工艺,降低成本,缩短周期,提高质量,提供差异化产品和服务。

MES即是为实现以上目标而专门设计的生产控制软件系统,能够根据宏观数据计划,指挥生产现场的过程控制系统进行生产,对现场信息进行工艺管理、物流管理、质量管理、生产进度跟踪管理、设备运行监督及控制等生产管理和调度执行。当前,MES在半导体制造行业中已成为提高企业核心竞争力的主要组成部分,是半导体制造企业必不可少的核心系统。

1 MES的定义

MES(Manufacturing Execution System,制造执行系统/生产实施系统)是面向车间的生产过程管理与实时信息系统。它主要解决车间生产任务的执行问题[1]。

MES将生产活动进行优化,可提供从订单投入到产品完成的整个过程所需的信息。MES将生产现场发生的信息正确、实时地向现场操作者或管理者报告,通过及时地应对生产环境,减少无附加值的生产活动,从而提高生产效率,改善生产条件,减少库存周转、按要求准时出货、增加生产毛利及现金流量等效益;同时,在企业与供应链之间提供一个双向的生产信息流,通过MES能够“透明地看到”制造现场,并根据制造现场的变动,及时制定工程计划,实时下达作业指示,进而准确预测交货期,安排调整加班计划等。2 MES的发展历程

20世纪80年代末,美国的先进制造研究机构(AMT)首先提出MES的概念;1992年,美国成立以宣传MES思

————————————————

收稿日期:2014-04-29

想和产品为宗旨的贸易联合会,即MES国际联合会(MESA International)1997年,MESA发布修订后的6个关于MES;的白皮书,对MES的定义与功能、MES与相关系统间的数据流程、应用MES的效益、MES软件评估与选择以及MES发展趋势等问题进行了详尽的阐述;1999年,美国国家标准与技术研究所(NIST)在MESA白皮书的基础上,发布有关MES模型的报告,将MES有关概念标准化。

国内工业信息化基本上是沿着西方工业国家的轨迹前进。最早的MES是20世纪80年代宝钢建设初期从西门子公司引进;90年代初期,开始对MES以及ERP进行跟踪研究、宣传或试点,而且曾经提出了 管控一体化”“,“人、财、物、产、供、销”等颇具中国特色的CIMS、MES、ERP、SCM等概念,但仅限于总结、归纳、宣传、坚持或者提炼、提升还不够,发展势头不快。

从2002年开始,国家863科研计划已将MES系统作为重点发展项目,并出台了具体的扶持办法,从战略高度上给予重视,确定了“工业化带动信息化、信息化促进工业化”的发展战略[2]。目前,几乎绝大多数大学和工业自动化研究单位,甚至于国家、省、市级政府主管部门都开始跟踪、研究MES。从中央到地方,从学会到协会,从IT公司到制造生产厂等,都卷入到MES热潮之中。3 MES功能模块

目前半导体业界广泛使用的MES系统主要包含13个子模块,其各部分功能概述如表1所列。 4 MES应用分析

从生产实际效果来看,在半导体制造行业引入MES系统,可有效地降低工艺设备误操作、减少生产线的在制品数量、缩短生产周期,从而提高设备利用率、提升产品质量与合格率、达到增加产出、增加销售收入的目的。

对于半导体制造企业来讲,MES生产应用可归纳为以下

2014年 / 第8期   物联网技术

87

Copyright©博看网 www.bookan.com.cn. All Rights Reserved.智能处理与应用Intelligent Processing and Application表1 半导体生产管理中MES系统的模块功能一览表序号1模块名称工厂模块化配置(MDL)功能概述建立与实际一致的生产线模型,把整个生产线以区域概念(Area)进行布局

功能具体描述①根据实际的两班或三班的作业方式定义生产线班次信息,计算作业员的产出效率。②定义原因代码(Reason Code),如暂停批次需要作业员选择一个暂停原因,这些原因就来源于Reason Code。①设备状态(Equipment State): ②设备能力(Equipment Capability)③设备属性(Equipment Attribute)④设备类型(Equipment Type)⑤设备组(Equipment Group)⑥设备对象(Equipment Object)

⑦设备具备版本控制(Version Control)①属性(Attribute)②规则(Rule)③操作步骤(Step)

④工艺路线(Process Plan)⑤产品(Product)

①系统属性(System Attribute)②客制化属性(Custom Attribute)③批次模板(Lot Template)

④交易模板(Transaction Template)①测量规格(Measure Spec)②数据采集计划(EDC Plan)用于定义显示SPC图的基本对象:①控制图模板(Chart Template)②控制图(Chart)

①用户权限(Access String): ②用户组(User Group): ③用户(User Profile):①行事历设定 

②机台维护保养计划③机台维护保养管理④操作工当机登记⑤技术员维修登记⑥记录技术维修结果

核心模块备注2

设备模块化配置(EQP)

用于管理生产线设备

工艺流程配置

(PRP)定义生产中的工作流程

(Work Flow)

在制品追踪配置 (WIP)设备数据收集模块(EDC)统计制程管制

(SPC)用户权限配置

(OPR)

在制品管理、料号管理与工艺路径

管理

定义数据采集的基本对象提供即时超标控制线警告、超标控

制动作和统计分析图表。用于管理系统的用户和权限

56

设备预防保养

(PM)

提供设备预保养与零部件的管控。

报表与数据存储物料清单管理

(BOM)

①MES数据库与报表数据仓储分开——确保MES运作效能②近期实时复制数据从MES 到数据仓储——快速响应 ③汇总数据表目的——容易生成报表包含同料号之间的结构信息及相关属性,以及主料与替代料信息及各种料号的一些属性信息等

①在各工序可显示该工序所需物料情况 

②在各工序可允许用户输入该工序实际使用物料情况 

③提供物料消耗报表,追溯物料消耗与批次,订单,产品等的关联 

10

11

生产工单管理

(WO)

①创建工单 ——根据客户信息的订单产生内部业务通知单;根据不同的工单类型,将所需的直接材料物料投入到系统中。

②释放工单 ——当批次产品入库到Wafer Bank区域并完成来料检验(IQC)后,根据生产计划释放工单;若客户的一个批次需要做一个或多个产品,在释放工单时,将选择对应批次的Wafer,并产生预定义的控制批号。①创建/修改/删除光罩②定义光罩状态③光罩位置管理④光罩入库⑤光罩出库

⑥光罩历史纪录查询⑦光罩申请/归还

①管理原材料批次接收,储存,使用过程。②管理原材料批次存储位置和位置变更。③原材料批次历史纪录查询。

12

光罩管理(Reticle)

13仓库管理

几个方面:

导入MES系统,生产管理单位(1)实时管控生产状况:

能够实时管控在制品的生产状况,为管理阶层实时提供各种生产和质量报表;

应用工程数据采集EDC模块和(2)快速查找分析问题:

88物联网技术   2014年 / 第8期   

品质分析报表,快速找出制程存在的主要问题与产品主要缺陷,进而加以改善,达到产品质量提升的目标;

对于在制程中所产生的各种品(3)提升信息回应速度:

质相关纪录,可在客户查询时即时回复,针对批次或物料的追溯,在系统中有明确的历史纪录,以节省未来查询时的反应

Copyright©博看网 www.bookan.com.cn. All Rights Reserved.智能处理与应用Intelligent Processing and Application表2 MES实施效果统计分析一览表序号123456

改善效果缩短制造周期时间降低或消除资料进入的时间

减少在制品(WIP)降低或排除转换间的文书工作改善产品质量,降低缺陷密度排除书面作业和蓝图作业的浪费

统计数据平均降低:35%,降低幅度:10~80%平均降低36%,降低幅度:0~90%;

近乎一半的报告中,反应有50%以上的降低幅度

平均降低:32%,降低幅度:0~100%平均降低:67%,降低幅度:0~200%平均降低:22%,降低幅度:0~65%平均降低:55%,降低幅度:0~100%;在62%的反应里,有75%以上减少

5 结 语MES的运用,可将企业的生产制造、经营管理与信息化相融合,推进企业管控一体化建设,实现对生产全过程的有效提醒、迅速反馈、质量控制、可追溯性,易于远程办公、经验传承;不仅可以节约成本、提高产出效率、经济效益明显,而且搭建了工业和信息化交流的综合平台,以信息化指导现代工业

速度。品管可藉由上述资讯于短时间内追溯生产品质资讯以回应客诉,并汇总品质报表以供管理阶层审查。

根据美国MESA协会的调查统计,MES实施对生产、经营、管理、产品等方面的提升效果显著,表2所列是MES实施效果统计分析表。

由上述分析可知,将MES信息系统应用于生产制造活动全过程,实现工业化与信息化的有效融合,可以通过及时、准确的信息,指导、启动、响应并记录生产活动的各个环节,从而能够对生产条件的变化做出迅速响应,减少非增值活动,缩短生产周期,提高生产制造过程的质量与合格率。同时,MES还可以改善设备投资回报率,有助于加快库存周转、实现及时交货、提高收益和现金流等绩效。

生产全过程,将进一步缩小国内外技术差距,因此得到了国家政策的大力支持和推广。

参 考 文 献

[1].制造执行系统,制造业信息化建设技术报告[R]. 华中

科技大学,2012.[2].M E S 技 术 发 展 趋 势 及 国 内 外 发 展 现 状[EB/OL]. [2012-06-13 ]. http://wenku.baidu.com/link?url=EYeYlOlxxRBPQMNb5

3UdSqJf6JzzGm5gH3Fds5qM3Dn0uzSW6O-w0jtPFMb2yKJ7ciDx4ENC5pa4reA1bKEyB-CPHrBfCGsPz76XN1eBsVy.

[3]潘美俊,饶运清. MES现状与发展趋势[J]. 中国制造业信息化, 2008(9): 47-50.

[4]何月华. 半导体行业MES的研究与应用[D]. 上海:上海交通大学,2007.

[5]高雪雪. 半导体制造业MES数据输入模块化的实例研究[J]. 东方企业文化, 2011(22):196-198.

作者简介:耿凯鸽男,河南洛阳人,工程师。主要从事大功率半导体器件制造。(1984—),

(上接第86页)

人员安排进行必要的培训,以避免由此带来的风险。3.3 投资成本

投资成本包括以下几部分,它们是系统软硬件采购成本、系统集成成本、业务模式、管理方式、人员安排成本、人员培训成本以及系统维护成本。4 结 语

通过对船舶企业电能智能化应用的深入研究,可以深刻感受到此应用鲜明的特点。

首先,采用先进的系统架构体系和基于3G的网络通讯技术设备,可以做到配置和技术应用的先进;其次,在经济和实用性方面,智能化设备管理以实用性为原则,充分利用现代化信息技术、移动通讯技术,在系统整体设计、硬件软件选型时结合企业现有系统实际情况,确定了合理、高性价比的建设方案。

本电能智能化应用系统的软件和硬件平台均采用模块化设计与开发,具有良好的可扩充、扩展能力,能够非常方便地进行系统升级和更新,以适应今后业务的不断发展,并提供与ERP系统的数据接口。另外,由于主干网和数据通讯多采

2014年 / 第8期   物联网技术

用无线通讯技术和3G通讯技术,减少了复杂的人工布线,以便于管理和维护。

依据某船舶集团的发展现状和未来发展规划,作者采用“总体规划、分步实施”的原则,项目前期可通过具备实施条件的区域先上,再逐步向其它生产线扩展,将实现企业每条生产线的电能智能管理,使企业实现‘电能有计量、考核有依据’。

下一步,笔者将研究与现有ERP平台进行整合,有效地进行信息资源共享,为船舶企业信化向智能化发展添砖加瓦。

参 考 文 献

[1] 杨瑞霞.基于GPRS电力无线抄表系统的设计与实现[J].电测与仪表,200730-32.(12):

[2] 里吉斯.通用分组无线业务人(GPRS)技术与应用[M].北京:民邮电出版社,2004.

[3] 唐亮. SAP接口技术研究与开发[D].上海:同济大学,2006.[4] 陈赜.ARM嵌入式技术实践教程[M].北京:北京航空航天大学出版社,2005.[5] 程广河,郝风琦,张让勇,等.嵌入式环境中的软件构件化研究[J].计算机技术与发展,2007,17139-141.(9):

89

Copyright©博看网 www.bookan.com.cn. All Rights Reserved.

因篇幅问题不能全部显示,请点此查看更多更全内容