专利名称：一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法专利类型：发明专利
发明人：黄誓成,何建进,陆映东申请号：CN201310135894.0申请日：20130418公开号：CN103274699A公开日：20130904
摘要：本发明涉及一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：将由化学共沉淀法得到氧化铟锡粉末装入管状柔性模具中，以200～400MPa压力进行冷等静压成型，冷等静压结束后，卸压至常压，制得氧化铟锡管状素坯，再将氧化铟锡管状素坯在脱脂炉中进行脱脂，然后将脱脂后的坯体放入压力烧结炉中，按一定的烧结条件在氧气压力下进行压力烧结，得到相对密度在99%以上的氧化铟锡旋转靶材。本发明制备的氧化铟锡管状旋转靶材，其优点在溅射过程中，靶材可绕固定的条状磁铁组件旋转，因而360°靶面可被均匀刻蚀，同时溅射原子可向各个方向飞行，均匀性好，溅射面积大，更换操作方便，生产效率高，靶材利用率高(>80%)。
申请人：广西晶联光电材料有限责任公司
地址：545036 广西壮族自治区柳州市阳和工业园阳和北路西2号
国籍：CN
代理机构：柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙)
代理人：韦微
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