专利名称：衬底处理方法及设备专利类型：发明专利
发明人：中野昭典,野沢俊久,中野竜申请号：CN201810293272.3申请日：20180403公开号：CN110176391A公开日：20190827
摘要：本发明提供能够实现均匀修整衬底的整个表面的衬底处理设备及衬底处理方法。衬底处理设备包含：气体通道，包含中心进气口及与中心进气口间隔开的额外进气口；以及喷淋板，包含连接到中心进气口及额外进气口的多个孔洞，其中气流通道经形成具有由气体通道的下表面及喷淋板的上表面界定的间隙，下表面及上表面实质上平行。本发明的第二修整气体与第一修整气体独立供应，可执行对图案结构的均匀修整。
申请人：ASM知识产权私人控股有限公司
地址：荷兰阿尔梅勒佛斯特卡尔斯瑞特8,AP1322
国籍：NL
代理机构：北京同立钧成知识产权代理有限公司
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