专利名称：衬底加工装置和加热设备专利类型：发明专利发明人：村田等,小杉哲也申请号：CN201110195218.3申请日：20110707公开号：CN102315102A公开日：20120111
摘要：本发明涉及衬底加工装置和加热设备。一种衬底加工装置包括：加热部分，包括圆柱体成形的绝热体和在绝热体的内圆周表面上布置的加热线；绝热部分，配置成在加热部分与绝热部分之间限定圆柱体空间；冷却气体引入部分，耦合到圆柱体空间并且设置在绝热部分之上以包围加热部分；以及冷却气体排放部分，设置在与冷却气体引入部分的高度近似相同的高度处从冷却气体引入部分的近似中心在直径方向上延伸。
申请人：株式会社日立国际电气
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京市金杜律师事务所
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