专利名称：用于涂覆大面积的基板的设备专利类型：发明专利
发明人：B.P.戈皮,R.阿布德尔-卡里姆,P.M.A.巴克斯申请号：CN201680018525.5申请日：20160201公开号：CN107406982A公开日：20171128
摘要：本发明涉及一种用于涂覆基板(8)的设备，所述设备具有进气机构(2)，所述进气机构具有具备排气面的气体分配腔(5)，所述气体分配腔具有基本上均匀地在所述排气面(2′)上分布布置的排气孔(6)，输入气体分配腔(5)中的处理气体通过所述排气孔能够进入处理室(7)并且到达布置在处理室的底板上的基板(8)。数平米大的排气面由多个位于一个共同的平面中的排气板(10、11、12、13、14、15、16、17、18、19)构成，其中，相邻的排气板(10‑19)在拆分区的范围内相互邻接，其中，所述拆分区远离对气体分配腔(5)的体积进行限定的侧壁(5′)布置。
申请人：艾克斯特朗欧洲公司
地址：德国黑措根拉特
国籍：DE
代理机构：北京市柳沈律师事务所
代理人：侯宇
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