专利名称：双向吹气装置专利类型：实用新型专利发明人：刘苏扬,周锋,谈悦,王毅申请号：CN201721716185.1申请日：20171210公开号：CN207474432U公开日：20180608
摘要：双向吹气装置。涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种减少芯片压伤的双向吹气装置。提供了一种结构紧凑、芯片吸取稳定，芯片表面硅渣清理效率和效果高的一种双向吹气装置。包括底座、管体和一对调节机构；所述管体为顶部封闭的空心管体，并竖向设置在所述底座的顶面；所述底座的顶面上设有进气口，所述进气口与所述管体的内腔相通；一对所述调节机构分别连接在靠近所述管体的顶面的位置，所述调节机构的尾部设有固定连接的吹气嘴。本实用新型具有结构紧凑、芯片吸取稳定，芯片表面硅渣清理效率和效果高等特点。
申请人：扬州扬杰电子科技股份有限公司
地址：225008 江苏省扬州市邗江区平山堂北路江阳创业园三期
国籍：CN
代理机构：扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙)
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