专利名称：压力传感装置及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：林舜茂,陈柏仰,姚怡安申请号：CN201610080329.2申请日：20160205公开号：CN107045397A公开日：20170815
摘要：一种压力传感装置包括一第一基板、一薄膜晶体管元件、一第一传感元件、一第二传感元件以及一可压缩层。薄膜晶体管元件形成于第一基板的一第一表面。第一传感元件形成于第一基板的一第二表面，且第二表面与第一表面为彼此相对的表面。第二传感元件与第一传感元件相对而设，且第二传感元件与第一传感元件分别位于第一基板的同一侧。可压缩层设置于第一传感元件与第二传感元件之间。藉此，本发明可使得压力传感装置可依据电容变化量判断被按压的位置及按压力道，同时可依据按压力道的大小来产生不同的控制功能。同时，本发明亦揭露一种压力传感装置的制造方法。
申请人：群创光电股份有限公司
地址：中国台湾新竹科学工业园区
国籍：TW
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
代理人：郭晓宇
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